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祝贺！芯辰化合物半导体外延片成功量产

芯辰半导体（苏州）有限公司三台（一期）量产型外延机台均调试完毕，目前可量产1654nm（3 inch）、1550nm (3 inch)、1310nm（3 inch）、1064nm（4 inch）、940nm(4 inch)、905nm（4 inch）、850nm (4 inch)、808nm(4 inch)等波段的半导体激光器外延片，波长均匀性小于2 nm。可以进行外延的材料体系包括InGaAsP、AlGaInAs、InGaAs、InGaP等，波长涵盖760 nm~1700 nm（可定制波长及材料外延结构）；配套的测试机台包括Hall、PL、HRXRD等。芯辰的外延片目前已获得国内某顶尖院校、某科研院所的长期订单。

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图1. 外延机台

图2. 外延机台开腔照片

图3. 1550nm波段外延片多量子阱光致发光谱

图4. 850nm波段外延片多量子阱光致发光谱