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祝贺！我司自研SNOM探针成功量产

近日，芯辰自研的用于扫描近场光学显微镜（SNOM）的光纤探针成功量产，性能可媲美国外同类产品，欢迎定购！

扫描近场光学显微镜可以使研究样品的光学特性的分辨率远远超过衍射极限，样品的荧光、发光、透射、散射等可以以几十纳米的空间分辨率进行映射。

芯辰开发的SNOM探针是孔径型的光纤探针，其结构如图1所示，主要是基于光纤拉锥的孔径型针尖，外面包裹一层铝或者其他金属薄膜，用于约束光信号。探针尖端可用于照明或收集光信号，待测的样品可以是透明的（透射模式）或者不透明的（反射模式）。

图1 孔径型SNOM探针结构示意图

芯辰采用独创的光纤端面处理手段，可以使光纤端面尺寸控制在50nm以内，并保持良好的形貌，如图2（a）所示；然后采用磁控溅射等方法将光纤端面完成金属涂敷，尖端表层均匀覆盖金属，无裸露，无损伤，金属化的光纤尖端尺寸仍控制在200nm以内，如图2（b）所示；然后采用微束流的聚焦离子束切割光纤端面，切口平整，孔径尺寸小于200nm（该孔径尺寸可定制），如图2（c）所示。

图2 （a）光纤端面尖锐化；（b）光纤尖端金属化；（c）切割出通光孔径

SNOM探针的量产也标志着我司在纳米尺度具备非常成熟的加工的能力，未来我司将推出更多类别的微纳尺度的元器件产品，并提供微纳加工的定制化服务，欢迎致电！

联系人：王博士，18810988139

2024年11月5日