我司主要厂务、外延、工艺及测试设备已到货

我司主要厂务、外延、工艺及测试设备已到货，包括MOCVD、FIB-SEM、光学镀膜机、ICP、RIE、电子束蒸发、光刻机、RTP、等离子体去胶机、PECVD、HRXRD、PL、Hall、台阶仪、芯片测试机、分选机、晶圆甩干机、尾气处理机、气体纯化器等（主要设备如下图所示），目前存放于库房，等待产线的厂务条件达到设备要求即可推进；其余部分设备也将陆续发货，例如EBL、磁控溅射、晶圆清洗机、晶圆腐蚀台、减薄研磨机、晶元划裂机等。大部分设备将于今年3月下旬进行安装。